深紫外全固态激光源（DUV-DPL）是采用半导体激光二极管泵浦固体激光器作为基频源，经多级非线性变频产生深紫外激光的激光源。与非线性光源相比，相干光源深紫外全固态激光（DUV）能量分辨率提高了约1个量级，光子流通量提高了约5个量级，光子流密度提高了约7个量级，可实现纳秒、皮秒和飞秒多种方式运转。我国是世界上唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家。
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